擴(kuò)散硅壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)，通過(guò)摻雜和擴(kuò)散，沿單晶硅晶片上的特征晶體取向，形成抗應(yīng)變性，形成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)性能，并在相同的硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，制成了一種結(jié)合了力靈敏度和力-電轉(zhuǎn)換檢測(cè)功能的擴(kuò)散硅壓力傳感器。
擴(kuò)散硅壓力傳感器：選擇說(shuō)明類型
1.傳感器和變送器的選擇
根據(jù)所測(cè)壓力的性質(zhì)，用戶應(yīng)首先確定表壓（相對(duì)于當(dāng)?shù)卮髿鈮海?，壓差，壓力或?fù)壓的選擇。如果測(cè)量液位，則還必須確定液位是高于自由大氣壓還是高于密封容器的壓力。如果測(cè)量密封壓力容器中的液位，則應(yīng)使用差壓產(chǎn)品。
2.確定產(chǎn)品范圍
從產(chǎn)品安全的角度考慮，通常最好在標(biāo)準(zhǔn)范圍值的60％-80％之內(nèi)選擇工作壓力值。由整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)中可能發(fā)生的異常情況引起的過(guò)載壓力不得超過(guò)產(chǎn)品允許的最大過(guò)載。在測(cè)量動(dòng)態(tài)管道的液體壓力時(shí)，還應(yīng)考慮水流下垂的影響，并適當(dāng)增加產(chǎn)品負(fù)荷。
3.產(chǎn)品精度選擇
產(chǎn)品等級(jí)根據(jù)多個(gè)參數(shù)進(jìn)行分類。等級(jí)越高，價(jià)格越貴。用戶可以根據(jù)檢測(cè)到的工作條件要求每個(gè)參數(shù)精度指標(biāo)，從而以較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)更高的精度要求。產(chǎn)品給出的三個(gè)精度指標(biāo)是使用國(guó)際最小二乘法或端基轉(zhuǎn)換法計(jì)算的。選擇傳感器時(shí)，應(yīng)根據(jù)測(cè)量系統(tǒng)分配給傳感器的最大誤差選項(xiàng)確定精度等級(jí)。有時(shí)還應(yīng)考慮零時(shí)漂移，零和滿量程溫度系數(shù)帶來(lái)的附加誤差。
4.選擇產(chǎn)品的溫度范圍
組裝電路后，某些系列的變送器具有集成的溫度補(bǔ)償。補(bǔ)償范圍已在各個(gè)產(chǎn)品介紹中標(biāo)出。對(duì)于使用寬溫度范圍并要求較高總精度的用戶，也可以使用軟件在輔助儀器數(shù)據(jù)處理中執(zhí)行溫度誤差校正。如果在補(bǔ)償區(qū)域之外使用，溫度系數(shù)指數(shù)可能會(huì)超出標(biāo)準(zhǔn)，但仍可以使用。在溫度限制區(qū)域中長(zhǎng)期工作將大大縮短產(chǎn)品壽命。
5.壓差傳感器和變送器的選擇
當(dāng)高壓端壓力高于低壓端壓力時(shí)，通常使用通用壓差傳感器和變送器。盡管擴(kuò)散硅傳感器也可以用于負(fù)壓差，但通常兩個(gè)壓力導(dǎo)入端基本對(duì)稱，但負(fù)壓通常沒有單獨(dú)的校準(zhǔn)端。如果用戶要求兩個(gè)壓力端高度對(duì)稱，則需要特別通知。低壓端用于系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的超負(fù)范圍。
6.頻率響應(yīng)特性
擴(kuò)散硅壓力傳感器的固有頻率高于其他產(chǎn)品。另外，更多的情況是傳感器結(jié)構(gòu)的壓力室的結(jié)構(gòu)參數(shù)和傳感器結(jié)構(gòu)的剛體的尺寸的影響。后者不能是無(wú)限的，所以主要它仍然受壓力室的影響。
7.與被測(cè)介質(zhì)匹配
傳感器，變送器接口和電子外殼由多種不同的結(jié)構(gòu)材料制成。它具有不同的媒體兼容性。為了獲得最佳使用效果，不會(huì)因介質(zhì)不匹配而損壞產(chǎn)品。用戶在選擇和訂購(gòu)時(shí)應(yīng)了解介質(zhì)的準(zhǔn)確名稱，濃度和溫度。
擴(kuò)散硅壓力傳感器：產(chǎn)品安裝和使用注意事項(xiàng)
在安裝和拆卸螺紋產(chǎn)品時(shí)，必須使用扳手來(lái)擰緊六向操作。在安裝過(guò)程中，請(qǐng)勿過(guò)度擰緊。嚴(yán)禁夾緊和拆卸其他零件，以免損壞相關(guān)的連接零件。請(qǐng)勿將尖銳或堅(jiān)硬的物體插入壓力孔的末端，以免損壞敏感膜或隔離膜，并且嚴(yán)禁撞擊，碰撞或掉落。
擴(kuò)散硅傳感器的零輸出不能通過(guò)單臂電阻法直接消除，而可以通過(guò)軟件零法，差分輸入微調(diào)法，T型電阻網(wǎng)絡(luò)校正等來(lái)消除。
