電容式壓力傳感器基于硅材料，采用電容原理，即利用電容變化將壓力轉換為電容變化，這是由MEMS技術制成的傳感器。電容式壓力傳感器的特點如下：

　?。?）高阻抗和低功率，因此所需的輸入力很小，輸入能量也很低。電容式傳感器的電極板之間的靜電吸引力很?。ù蠹s10-5N），因此所需的輸入能量非常小，因此特別適合解決低輸入能量的測量問題，例如測量極低的壓力和力。而且非常小的加速度，位移等，它可以做得非常靈敏，分辨率很高，并且可以感覺到0.001μm或更小的位移。

　?。?）良好的溫度穩(wěn)定性。傳感器的電容值通常與電極材料無關，這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，并且由于它產(chǎn)生的熱量很少，因此對穩(wěn)定性的影響很小。

　?。?）結構簡單，適應性強。測試對象可以是導體或半導體，并且可以在惡劣的環(huán)境中工作。電容傳感器結構簡單，易于制造，并且可以做得很小以實現(xiàn)某些特殊的測量；它可以在高溫和低溫，強輻射和強磁場等惡劣環(huán)境中工作，還可以測量磁性工件。