美國(guó)派克PARKER超高純單級(jí)膜片式壓力調(diào)節(jié)器產(chǎn)品描述：

派克Veriflo部門959W和NPR959W（亞大氣）是超高純氣體分配系統(tǒng)中的重負(fù)荷型壓力調(diào)節(jié)器。束縛式膜片設(shè)計(jì)通過改進(jìn)截止閥提高了使用安全性，降低了高壓減壓的風(fēng)險(xiǎn)。閥座被一個(gè)一體式濾網(wǎng)進(jìn)一步保護(hù)以免被進(jìn)口氣缸污染。這種系列對(duì)于惰性氣體和腐蝕性氣體同樣適用，同時(shí)*的壓桿設(shè)計(jì)排除了螺紋造成的污染，進(jìn)一步提高了過程清潔度以及吹掃性能。它是當(dāng)需要嚴(yán)格潔凈、可靠、抗漏的制造業(yè)操作時(shí)的理想選擇。

959W和NPR959W系列與流體接觸的部分由316L不銹鋼構(gòu)成，具有的防腐蝕性及抗漏能力。閥體內(nèi)部經(jīng)過電解拋光進(jìn)一步提高防腐蝕性。對(duì)于那些更高級(jí)別的防腐蝕性要求，可提供將主要部件（膜片，閥錐，壓桿）用Hastelloy C-22® 哈斯特洛伊C22材料裝飾的選擇。閥座可選擇PCTFE（聚三氟氯乙烯）或Vespel(聚酰亞胺樹脂）材質(zhì)。在進(jìn)口壓力高達(dá)3,500 psig的情況下，這些材料為調(diào)節(jié)器提供了的防腐蝕性和大的使用壽命。

內(nèi)部（閥座）密封及金屬外部密封均采用質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄漏實(shí)驗(yàn)，以確保其在高要求的超高純應(yīng)用中有出色可靠的表現(xiàn)。

美國(guó)派克PARKER超高純單級(jí)膜片式壓力調(diào)節(jié)器特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì)：
• *的壓桿使閥體不依靠螺紋噴嘴就能實(shí)現(xiàn)密封
• 高使用壽命
• 金屬-金屬、膜片-閥體密封確保了的抗漏性能
• 內(nèi)部泄漏率：<2×10 -9 scc/sec He
• 外部泄漏率：<2×10 -10 scc/sec He
• 進(jìn)口壓力可高達(dá)3,500 psig
• 出口壓力從-25 in-Hg到100 psig（NPR959W用于亞大氣壓力控制）
• Cv選項(xiàng)為0.04（std）或0.20
• 15-20 Ra（std）或10 Ra電解拋光表面光潔度

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